技術紹介

コーティング技術

真空薄膜コーティングがナノテクノロジーを支えます。

フィルムなどのシート材や糸状材に導電性や光学膜などの機能性を付加するため、金属や高分子、セラミックスの薄膜コーティングを必要とする分野が増えてきました。

こうしたなかで、当社は長年培ってきたフィルム走行制御技術と真空技術を結合させ、これまでのウエットコーティングではなく、より薄く粒子の緻密な成膜が可能なドライコーティングによるフィルム成膜装置の技術開発に取り組んでいます。

その成膜には蒸着、スパッタリング、プラズマなどさまざまな技術を用いて多用途に展開できますが、最近のCOF材料やタッチパネル材料などの成膜はドライコーティングならではの技術です。ナノテクノロジーを進化させる技術として、大きな可能性を秘めています。

当社は現在、ウエットコーティングによる成膜装置メーカーでもある親会社の(株)ヒラノテクシードとともに「ウエット&ドライ・コーターシステム」の研究を進めています。

ウエット法とドライ法はそれぞれ異なった特性をもつ薄膜を形成します。そこで、この2つの技術を1つの成膜装置のなかで組み合わせ、薄膜コーティングの可能性をさらに大きく広げようと考えているのです。

ガスバリアー性や透明性が低いという現在のフィルムの課題を2つの技術を融合させることによって解決し、たとえばガラスに代わる素材として利用できるフィルムを生み出す──そんな研究に取り組んでいます。

ヒラノテクシードとの技術融合であらゆる薄膜用途に対応

ヒラノK&Eの真空コーティング技術領域と薄膜市場相関図

ヒラノK&Eの真空コーディング技術領域と薄膜市場相関図

走行技術

ドライでもウェットでも、最適の方法をご提案できます

走行式成膜装置の多くは、1つの真空槽のなかに巻き出し部、成膜部、巻き取り部を内蔵したRoll to Rollタイプで、成膜部ではフィルムの耐熱性や成膜時の結晶化のため、冷却/加熱ロールの表面にフィルムを沿わせて、走行させます。

当社は最近の成膜技術において冷却/加熱システムや成膜用電源を多様化させ、低温成膜や低抵抗な透明導電(ITO)膜技術、高速成膜、あるいは成膜源の使用効率向上など新しい技術の実現に向けて開発を進めております。

また、当社のコア技術の1つに「低張力安定走行」があります。成膜時、フィルムに強い張力がかかると、均一なコーティングが出来ず、膜へダメージを与える場合があります。このため低張力でフィルムをロールに沿わせ、しかも安定的に走行させるという独自技術を確立し、高精度の薄膜コーティングを実現しています。

当社は通常の「水平走行」だけでなく、「縦型走行」(特許取得)と「螺旋走行」(特許申請中)による成膜装置を開発しています。これは業界で初めて当社が実用化した技術です。

「縦型走行」は、フィルムなどのシート材料の幅方向が水平線に直角な方向(鉛直方向)で走行させる方式です。堆積物の落下・剥離の問題から解放されるため、成膜源の配置に制限がなくなり、基材両面への成膜が容易になります。また、水平方向の場合にスペースをとってしまうモーターなどの据付面積据付面積が小さくなり、省スペース化が可能になります。

一方、基材をガイドロールと駆動ロール間で螺旋状に周回させる「螺旋走行」は、成膜源の前を繰り返して通過させることができるので、狭幅帯状材料に厚い膜を成膜するのに適しています。

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