製品・サービス情報

真空成膜装置

当社では、オリジナル技術を用いた装置で、あらゆる「真空薄膜コーティング」に対するニーズにお応えします。

  装置名 走行方式 成膜方式 基材 用途  
1 スパッタリング装置
(ロール幅:1250mm)
水平型 スパッタ フィルム 電子部品材料
光学膜
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2 スパッタリング装置
(ロール幅:1300mm)
水平型 スパッタ フィルム 電子部品材料
光学膜
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3 スパッタリング装置
(ロール幅:1750mm)
水平型 スパッタ メッシュ 印刷材料
シールド材料
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4 スパッタリング装置
(ロール幅:350mm)
水平型 スパッタ フィルム 電子部品材料
 
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5 スパッタリング装置
(ロール幅:350mm)
水平型 スパッタ フィルム 電子部品材料
光学膜
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6 スパッタ・EB蒸着装置
(ロール幅:350mm)
水平型 スパッタ
EB蒸着
フィルム 電子部品材料
光学膜
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7 特殊両面スパッタ装置
(ロール幅:600mm)
水平型 特殊両面
スパッタ
フィルム
金属箔
電子部品材料 詳細
8 縦型スパッタリング装置
(ロール幅:1050mm)
縦型 スパッタ フィルム 電子部品材料
光学膜
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9 縦型スパッタリング装置
(ロール幅:650mm)
縦型 スパッタ フィルム 太陽電池
 
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10 縦型スパッタリング装置
(ロール幅:400mm)
縦型 スパッタ フィルム 電子部品材料
 
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11 螺旋型スパッタ装置
(テープ幅:10mm)
螺旋 スパッタ 金属テープ 超電導 詳細
12 脱ガス装置
(ロール幅:1000mm)
水平型 IRランプ フィルム 前処理
 
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13 脱ガス装置
(ロール幅:1700mm)
水平型 IRランプ フィルム 前処理
 
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14 プラズマ処理装置
(ロール幅:600mm)
水平型 プラズマ フィルム 電子部品材料
 
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15 四元スパッタ装置
(基板サイズ:φ2")
枚葉 スパッタ 金属
無機材料
研究開発 詳細

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