製品・サービス情報

真空成膜装置

縦型スパッタリング装置(ロール幅:650mm)

特徴

走行方法縦型
成膜方式スパッタ
基材フィルム
用途太陽電池

スペック/仕様

ロール幅650mm
機械速度0.1~5m/min
スパッタ源数4台
設置エリアL25m×W10m×H5m
総重量-

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