製品・サービス情報

真空成膜装置

縦型スパッタリング装置(ロール幅:1050mm)

特徴

走行方法縦型
成膜方式スパッタ
基材フィルム
用途電子部品材料、光学膜

スペック/仕様

ロール幅1050mm
機械速度0.5~5m/min
スパッタ源数2台
設置エリアL5m×W8m×H3m
総重量7.5Ton

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