製品・サービス情報

真空成膜装置

特殊両面スパッタ装置(ロール幅:600mm)

特徴

走行方法水平型
成膜方式特殊両面スパッタ
基材フィルム、金属箔
用途電子部品材料

スペック/仕様

ロール幅600mm
機械速度0.5~5m/min
蒸発源数2台
設置エリアL6.5m×W6m×H4m
総重量60Ton
写真:特殊両面スパッタ装置(ロール幅:600mm)

PAGE TOP