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真空成膜装置

Products No / 003

スパッタリング装置(ロール幅:350mm)

特徴
走行方式 水平型
成膜方式 スパッタ
基材 フィルム
用途 電子部品材料
スペック・仕様
ロール幅 350mm
機械速度 0.1~5m/min
スパッタ源数 2台
設置エリア L6m×W5m×H3m
総重量 5Ton

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