製品・サービス情報

真空成膜装置

縦型スパッタリング装置(ロール幅:400mm)

特徴

走行方法縦型
成膜方式スパッタ
基材フィルム
用途電子部品材料

スペック/仕様

ロール幅 400mm
機械速度 0.05~2.50m/min
スパッタ源数 3台
設置エリアL6m×W5m×H3m
総重量 6Ton
写真:縦型スパッタリング装置(ロール幅:400mm)

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