真空成膜装置
Products No / 008
螺旋型スパッタ装置（テープ幅：10mm）
特徴
| 走行方法 | 螺旋 |
|---|---|
| 成膜方式 | スパッタ |
| 基材 | 金属テープ |
| 用途 | 超電導 |
スペック・仕様
| ロール幅 | 10mm |
|---|---|
| 機械速度 | 0.05～0.5m/min |
| スパッタ源数 | 4台 |
| 設置エリア | L3m×W3m×H3m |
| 総重量 | 1.5Ton |
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