製品・サービス情報

真空成膜装置

螺旋型スパッタ装置(テープ幅:10mm)

特徴

走行方法螺旋
成膜方式スパッタ
基材金属テープ
用途超電導

スペック/仕様

ロール幅10mm
機械速度0.05~0.5m/min
スパッタ源数4台
設置エリアL3m×W3m×H3m
総重量1.5Ton
写真:螺旋型スパッタ装置(テープ幅:10mm)

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