製品・サービス情報

真空成膜装置

スパッタリング装置(ロール幅:1250mm)

特徴

走行方法水平型
成膜方式スパッタ
基材フィルム
用途電子部品材料、光学膜

スペック/仕様

ロール幅1250mm
機械速度1~25m/min
スパッタ源数4台
設置エリアL17.5m×W10m×H4.9m
総重量180Ton

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